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CVD金刚石生长技术的特点及应用技术分析【一】2022-08-29
自20世纪80年代初在全世界形成了研究化学气相沉积(CVD)金刚石技术热潮以来,CVD金刚石沉积技术、加工技术和应用技术得到了飞速发展。CVD金刚石沉积技术不同的应用需要有不同的沉积工艺,一般可分为光学级金刚石膜工艺、机械级金刚石膜工艺、低...

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